标准号：GB/T 27760-2011
实施状态：现行
中文名称：利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法
英文名称：Test method for calibrating the z-magnification of an atomic force microscope at subnanometer displacement levels using si (111) monatomic steps
组织分类：GB
中标分类：N04
ICS分类：19.020
标准分类：CN
发布日期：2011-12-30
实施日期：2012-05-01
采用标准：ASTM E2530-2006,MOD
归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会
起草单位：国家纳米科学中心
范围：本标准规定了利用Si(111)晶面原子台阶高度样品校准原子力显微镜z向标度的测量方法。本标准适用于在大气或真空环境下工作的原子力显微镜,并且其z向放大倍率达到最大量级,即z向位移在纳米和亚纳米范围内,这是原子力显微镜用于检测半导体表面,光学器件表面和其他高科技元件表面中经常用到的检测范围。本标准并未指出所有可能的安全问题,在应用本标准之前,使用者有责任采取适当的安全和健康措施,并保证符合国家有关法规规定的条件。
文件格式：PDF
文件大小：470.34KB
文件页数：14
（以上信息更新时间为：2019-04-09）
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