标准号：GB/T 11164-2011
实施状态：现行
中文名称：真空镀膜设备通用技术条件
英文名称：Vacuum coating plant generic specification
组织分类：GB
中标分类：J78
ICS分类：23.160
标准分类：CN
发布日期：2011-11-21
实施日期：2012-06-01
代替标准：GB/T 11164-1999
归口单位：全国真空技术标准化技术委员会
起草单位：北京北仪创新真空技术有限责任公司
范围：本标准规定了真空镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等要求。本标准适用于压力在100000/1 Pa～1000/1 Pa范围的真空蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备(以下简称设备)。
文件格式：PDF
文件大小：319.04KB
文件页数：11
（以上信息更新时间为：2019-04-09）
标准全文下载：
GB_T 11164-2011 真空镀膜设备通用技术条件.pdf
(319.04 KB)
|
|
