标准号：GB/T 26249-2010
实施状态：现行
中文名称：电子工业用气体 硒化氢
英文名称：Gases for electronic industry. Hydrogen selenide
组织分类：GB
中标分类：G86
ICS分类：71.100.20
标准分类：CN
发布日期：2011-01-14
实施日期：2011-05-01
归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会
起草单位：中国计量科学研究院
范围：本标准规定了硒化氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于硒铝、硒镁合金化合物水解、单质硒与氢高温反应等方法获得并经精制得到的硒化氢产品。它主要用于太阳能电池、半导体和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。
文件格式：PDF
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文件页数：13
（以上信息更新时间为：2019-04-10）
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GB_T 26249-2010 电子工业用气体 硒化氢.pdf
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