标准号：GB/T 17874-2010
实施状态：现行
中文名称：电子工业用气体 三氯化硼
英文名称：Gases for electronic industry. Boron trichloride
组织分类：GB
中标分类：G86
ICS分类：71.100.20
标准分类：CN
发布日期：2011-01-14
实施日期：2011-05-01
代替标准：GB/T 17874-1999
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会
起草单位：西南化工研究设计院
范围：本标准规定了三氯化硼的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以粗制三氯化硼为原料,采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼,主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。
文件格式：PDF
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文件页数：9
（以上信息更新时间为：2019-04-10）
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GB_T 17874-2010 电子工业用气体 三氯化硼.pdf
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