标准号：GB/T 26111-2010
实施状态：现行
中文名称：微机电系统(MEMS)技术 术语
英文名称：Micro-electromechanical system technology. Terms
组织分类：GB
中标分类：L55
ICS分类：31.200
标准分类：CN
发布日期：2011-01-10
实施日期：2011-10-01
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
起草单位：中机生产力促进中心
范围：本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。 本标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。
文件格式：PDF
文件大小：1.23MB
文件页数：37
（以上信息更新时间为：2019-04-10）
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GB_T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语.pdf
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