标准号：GB/T 26069-2010
实施状态：现行
中文名称：硅退火片规范
英文名称：Specification for silicon annealed wafers
组织分类：GB
中标分类：H80
ICS分类：29.045
标准分类：CN
发布日期：2011-01-10
实施日期：2011-10-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
起草单位：万向硅峰电子股份有限公司
范围：本标准规定了半导体器件和集成电路制造用硅退火抛光片的要求,试验方法,检验规则等。本标准适用于线宽180nm,130nm和90nm工艺退火硅片。
文件格式：PDF
文件大小：230.46KB
文件页数：10
（以上信息更新时间为：2019-04-10）
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GB_T 26069-2010 硅退火片规范.pdf
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