标准号:JB/T 8946-2010
实施状态:现行
中文名称:真空离子镀膜设备
英文名称:Vacuum ion coating plant
组织分类:JB
中标分类:J78
ICS分类:23.160
标准分类:QT
发布日期:2010-02-11
实施日期:2010-07-01
代替标准:JB/T 8946-1999
归口单位:全国真空技术标准化技术委员会
起草单位:大连远东真空技术有限公司
范围:本标准规定了真空离子镀膜设备的型式与基本参数、技术要求、设备检验及其品质评价、质量承诺以及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于电弧蒸发离子镀膜设备;电子束蒸发离子镀膜设备;磁控溅射离子镀膜设备;上述三类离子镀膜设备的组合。其它类型的具有离子镀膜特征的设备可参照执行本标准。
文件格式:PDF
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(以上信息更新时间为:2019-04-13)
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