标准号：GB/T 14144-2009
实施状态：现行
中文名称：硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
英文名称：Testing method for determination of radial interstitial oxygen variation in silicon
组织分类：GB
中标分类：H80
ICS分类：29.045
标准分类：CN
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
代替标准：GB/T 14144-1993
采用标准：SEMI MF 1188-1105,MOD
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
起草单位：峨嵋半导体材料厂
范围：本标准采用红外光谱法测定硅晶体中间隙氧含盘径向的变化。本标准需要用到无氧参比样品和一套经过认证的用于校准设备的标准样品。
文件格式：PDF
文件大小：345.32KB
文件页数：9
（以上信息更新时间为：2019-04-13）
标准全文下载：
GB_T 14144-2009 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法.pdf
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