标准号：GB/T 14600-2009
实施状态：现行
中文名称：电子工业用气体 氧化亚氮
英文名称：Gas for electronic industry. Nitrous oxide
组织分类：GB
中标分类：G86
ICS分类：71.100.20
标准分类：CN
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
代替标准：GB/T 14600-1993
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会
起草单位：中国计量科学研究院
范围：本标准规定了氧化亚氮的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于电子工业中化学气相淀积工艺
文件格式：PDF
文件大小：383.66KB
文件页数：9
（以上信息更新时间为：2019-04-13）
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