标准号：GB/T 14601-2009
实施状态：现行
中文名称：电子工业用气体 氨
英文名称：Gas for electronic industry. Ammonia
组织分类：GB
中标分类：G86
ICS分类：71.100.20
标准分类：CN
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
代替标准：GB/T 14601-1993
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
起草单位：大连光明化工研究院
范围：本标准规定了氨的技术要求,试验方法,检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。本标准适用于半导体工业氮化硅、氮化镓的化学气相淀积,也可用于硅或氧化硅的氮化
文件格式：PDF
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