标准号：GB/T 1554-2009
实施状态：现行
中文名称：硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
英文名称：Testing method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques
组织分类：GB
中标分类：H80
ICS分类：29.045
标准分类：CN
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
代替标准：GB/T 1554-1995
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
起草单位：峨嵋半导体材料厂
范围：本标准规定了用择优腐蚀技术检验硅晶体完整性的方法
文件格式：PDF
文件大小：5.19MB
文件页数：21
（以上信息更新时间为：2019-04-13）
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GB_T 1554-2009 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法.pdf
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