标准号：GB/T 4061-2009
实施状态：现行
中文名称：硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
英文名称：Polycrystalline silicon-examination method-assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion
组织分类：GB
中标分类：H80
ICS分类：29.045
标准分类：CN
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
代替标准：GB/T 4061-1983
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
起草单位：洛阳中硅高科技有限公司
范围：本标准规定了以三氯氢硅和四氯化硅为原料在还原炉内用氢气还原出的硅多晶棒的断面夹层化学腐蚀检验方法。本标准关于断面夹层的检验适用于以三氯氢硅和四氯化硅为原料,以细硅芯为发热体,在还原炉内用氢气还原沉积生长出来的硅多晶棒。
文件格式：PDF
文件大小：112.85KB
文件页数：5
（以上信息更新时间为：2019-04-13）
标准全文下载：
GB_T 4061-2009 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法.pdf
(112.85 KB)
|
|
