标准号：GB/T 20175-2006
实施状态：现行
中文名称：表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法
英文名称：Surface chemical analysis. Sputter depth profiling. Optimization using layered system as reference materials
组织分类：GB
中标分类：N33
ICS分类：71.040.40
标准分类：CN
发布日期：2006-03-27
实施日期：2006-11-01
被替代标准：
代替标准：
采用标准：ISO 14606-2000,IDT
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
起草单位：清华大学电子工程系
范围：为使俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱的仪器设定达到深度分辨的优化目的,本标准采用适当的单层和多层膜系参考物质,提供优化溅射深度剖析参数的指南。特殊多层膜系的使用不包括在本标准内。
文件格式：PDF
文件大小：689.52KB
文件页数：19
（以上信息更新时间为：2019-04-19）
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