标准号：GB/T 18193-2000
实施状态：现行
中文名称：真空技术 质谱检漏仪校准
英文名称：Vacuum technology. Mass-spectrometer-type leak detector calibration
组织分类：GB
中标分类：J78
ICS分类：23.160
标准分类：CN
发布日期：2000-09-26
实施日期：2001-02-01
被替代标准：
代替标准：
采用标准：ISO 3530-1979,IDT
归口单位：全国真空技术标准化技术委员会
起草单位：沈阳真空技术研究所
范围：本标准规定了质谱检漏仪的校准程序。它仅适用于校准将灵敏元件处于高真空系统中的检漏仪。因此这个方法没有制订完整的验收试验。本标准规定探索气体使用氦-4。但在适当的预防措施下,可以使用其他探索气体,如氩-40。本标准程序提出了测定最小可检漏率和最小可检浓度比的两个要点。它分别应用于高真空和压力大于一个大气压的检漏仪上。
文件格式：PDF
文件大小：529.42KB
文件页数：14
（以上信息更新时间为：2019-04-28）
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GB_T 18193-2000 真空技术 质谱检漏仪校准.pdf
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