标准号：GB/T 16524-1996
实施状态：现行
中文名称：光掩模对准标记规范
英文名称：Specification for registration marks for photomasks
组织分类：GB
中标分类：L55
ICS分类：31.200
标准分类：CN
发布日期：1996-09-09
实施日期：1997-05-01
被替代标准：
代替标准：
采用标准：SEMI P6-1988,MOD
归口单位：电子工业部标准化研究所
起草单位：中国科学院微电子中心
范围：本规范规定了所有光掩模上使用的对准标记的形状、尺寸范围和一般位置。本规范适用于光掩模。
文件格式：PDF
文件大小：295.93KB
文件页数：6
（以上信息更新时间为：2019-05-03）
标准全文下载：
GB_T 16524-1996 光掩模对准标记规范.pdf
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