标准号：GB/T 16523-1996
实施状态：现行
中文名称：圆形石英玻璃光掩模基板规范
英文名称：Specification for round quartz photomask substrates
组织分类：GB
中标分类：L55
ICS分类：31.200
标准分类：CN
发布日期：1996-09-09
实施日期：1997-05-01
被替代标准：
代替标准：
采用标准：SEMI P4-1992,MOD
归口单位：电子工业部标准化研究所
起草单位：长沙韶光微电子总公司
范围：本标准规定了圆形石英玻璃光掩模基板的技术要求、试验方法等内容。本标准适用于圆形石英玻璃光掩模基板。
文件格式：PDF
文件大小：326.80KB
文件页数：10
（以上信息更新时间为：2019-05-03）
标准全文下载：
GB_T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范.pdf
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