标准号：GB/T 15871-1995
实施状态：现行
中文名称：硬面光掩模基板
英文名称：Hard surface photomask substrates
组织分类：GB
中标分类：L97
ICS分类：31.030
标准分类：CN
发布日期：1995-12-22
实施日期：1996-08-01
被替代标准：
代替标准：
采用标准：SEMI P1-1992,NEQ
归口单位：电子工业部标准化研究所
起草单位：长沙韶光微电子总公司
范围：本标准规定了硬面光掩模用玻璃基板的要求、试验方法、检验规则等内容。本标准适用于硬面光掩模用玻璃基板(以下简称基板)。
文件格式：PDF
文件大小：289.37KB
文件页数：13
（以上信息更新时间为：2019-05-04）
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GB_T 15871-1995 硬面光掩模基板.pdf
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