标准号：GB/T 13843-1992
实施状态：已作废
中文名称：蓝宝石单晶抛光衬底片
英文名称：Polished monocrystalline sapphire substrates
组织分类：GB
中标分类：L90
ICS分类：29.040.30
标准分类：CN
发布日期：1992-12-28
实施日期：1993-08-01
作废日期：2017-12-15
归口单位：无
起草单位：天津半导体技术研究所
范围：本标准规定了生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片的技术要求、测试方法、检验规则。本标准适用于制备半导体器件的生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片。
文件格式：PDF
文件大小：738.20KB
文件页数：10
（以上信息更新时间为：2019-05-07）
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GB_T 13843-1992 蓝宝石单晶抛光衬底片.pdf
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