[国家标准] GB/T 14015-1992 硅--蓝宝石外延片

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3 | 2010-12-24 11:11 | 显示全部楼层 |阅读模式

标准号：GB/T 14015-1992
实施状态：现行
中文名称：硅--蓝宝石外延片
英文名称：Silicon on sapphire epitaxial wafers
组织分类：GB
中标分类：L90
ICS分类：29.040.30
标准分类：CN
发布日期：1992-12-28
实施日期：1993-08-01
归口单位：无
起草单位：天津半导体技术研究所
范围：本标准规定了蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片的技术要求、测试方法、检验规则。本标准适用于半导体器件用蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片。
文件格式：PDF
文件大小：242.71KB
文件页数：8
（以上信息更新时间为：2019-05-07）

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