标准号：YS/T 26-1992
实施状态：已作废
中文名称：硅片边缘轮郭检验方法
组织分类：YS
中标分类：H81
ICS分类：29.045
标准分类：QT
发布日期：1992-03-09
实施日期：1993-01-01
作废日期：2017-01-01
被替代标准：YS/T 26-2016
代替标准：
采用标准：ASTM F928-1985,MOD
归口单位：无
起草单位：洛阳单晶硅厂
范围：本标准规定了硅片边缘轮廓的检验方法。本检验方法适用于检验倒角硅片的边缘轮廓。
文件格式：PDF
文件大小：163.11KB
文件页数：5
（以上信息更新时间为：2019-05-07）
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YS_T 26-1992 硅片边缘轮郭检验方法.pdf
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