标准号：YS/T 15-1991
实施状态：已作废
中文名称：硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
组织分类：YS
中标分类：H82
ICS分类：29.045
标准分类：QT
发布日期：1991-04-26
实施日期：1992-06-01
作废日期：2015-10-01
被替代标准：YS/T 15-2015
归口单位：中国有色金属工业总公司
起草单位：上海有色金属研究所
范围：本标准规定了硅外延层和扩散层厚度 磨角染色达测试方法。本标准适用于薄层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的薄层厚度测量。测量范围:1～25 μm。
文件格式：PDF
文件大小：232.01KB
文件页数：6
（以上信息更新时间为：2019-05-08）
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YS_T 15-1991 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法.pdf
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