标准号：SJ/T 11181-1998
实施状态：现行
中文名称：净化涂胶台通用规范
英文名称：General specification for resist-coating stage with purified room
组织分类：SJ
中标分类：L97
ICS分类：31.020
标准分类：QT
发布日期：1998-03-11
实施日期：1998-05-01
归口单位：电子工业部标准化研究所
起草单位：电子工业部半导体专用设备研究所
范围：本标准规定了净化涂胶台(以下简称涂胶台)的定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于制造半导体集成电路专用的净化涂胶设备,其它类型的涂胶设备也可参照使用。
文件格式：PDF
文件大小：1.18MB
文件页数：8
（以上信息更新时间为：2019-05-02）
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SJ_T 11181-1998 净化涂胶台通用规范.pdf
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