标准号：SJ 20518-1995
实施状态：现行
中文名称：压电器件用五氧化二钽薄膜规范
英文名称：Specification for Ta2O5 films for use in piezoelectric devices
组织分类：SJ
中标分类：G13;L21
标准分类：QT
发布日期：1995-05-25
实施日期：1995-12-01
被替代标准：
代替标准：
归口单位：中国电子技术标准化研究所
起草单位：电子工业部第二十六研究所
范围：本规范规定了五氧化二钽(Ta(2)O(5))压电晶体膜的要求,质量保证规定和检验方法。本规范适用于平面磁控反应性溅射法制备的M点群的五氧化二钽压电晶体膜。
文件格式：PDF
文件大小：1.44MB
文件页数：8
（以上信息更新时间为：2019-05-04）
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SJ 20518-1995 压电器件用五氧化二钽薄膜规范.pdf
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