标准号：SJ/T 31082-1994
实施状态：已作废
中文名称：真空镀膜设备完好要求和检查评定方法
组织分类：SJ
中标分类：L96
标准分类：QT
发布日期：1994-04-15
实施日期：1994-06-01
作废日期：2017-05-12
归口单位：无
起草单位：国营南光机器厂
范围：本标准规定了真空镀膜设备的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于极限压力在1×10^(-5)～1×10^(-4)pa范围内的各种型号真空镀膜设备。
文件格式：PDF
文件大小：534.02KB
文件页数：3
（以上信息更新时间为：2019-05-05）
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