标准号：SJ/T 31093-1994
实施状态：现行
中文名称：陶瓷劈刀外圆磨床完好要求和检查评定方法
组织分类：SJ
中标分类：J55;L97
标准分类：QT
发布日期：1994-04-15
实施日期：1994-06-01
归口单位：无
起草单位：中国华晶电子集团公司
范围：本标准规定了半导体集成电路生产用陶瓷劈刀外圆磨床的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于MVS-100型劈刀外圆磨床,其它型号的劈刀外圆磨床,亦可参照执行。
文件格式：PDF
文件大小：530.77KB
文件页数：3
（以上信息更新时间为：2019-05-05）
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SJ_T 31093-1994 陶瓷劈刀外圆磨床完好要求和检查评定方法.pdf
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