标准号：SJ/T 31095-1994
实施状态：已作废
中文名称：劈刀研磨装置完好要求和检查评定方法
组织分类：SJ
中标分类：L97
标准分类：QT
发布日期：1994-04-15
实施日期：1994-06-01
作废日期：2017-05-12
归口单位：无
起草单位：中国华晶电子集团公司
范围：本标准规定了半导体集成电路生产用陶瓷劈刀研磨装置的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于KIKO型劈刀研磨装置,结构类似的其它型号的劈刀研磨装置,亦可参照执行。
文件格式：PDF
文件大小：365.44KB
文件页数：2
（以上信息更新时间为：2019-05-05）
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SJ_T 31095-1994 劈刀研磨装置完好要求和检查评定方法.pdf
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