标准号：SJ/T 31100-1994
实施状态：现行
中文名称：离子束蚀刻机完好要求和检查评定方法
组织分类：SJ
中标分类：L97;J59
标准分类：QT
发布日期：1994-04-15
实施日期：1994-06-01
归口单位：无
起草单位：电子工业部第48所
范围：本标准规定了半导体器件生产用离子束蚀刻机的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于电子产品生产、科研用离子束蚀刻机。
文件格式：PDF
文件大小：937.22KB
文件页数：5
（以上信息更新时间为：2019-05-05）
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