标准号：SJ/T 31455-1994
实施状态：现行
中文名称：反渗透装置完好要求和检查评定方法
组织分类：SJ
中标分类：J77
标准分类：QT
发布日期：1994-04-15
实施日期：1994-06-01
归口单位：无
起草单位：国营华东电子管厂
范围：本标准规定了电子工业元器件生产用电子级水制造设备反渗透装置的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于电子工业企业电子元器件,集成电路制造以及清洗工序用电子级水制造的反渗透装置。
文件格式：PDF
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文件页数：4
（以上信息更新时间为：2019-05-05）
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