标准号：SJ/T 31460-1994
实施状态：现行
中文名称：电渗析设备完好要求和检查评定方法
组织分类：SJ
中标分类：G92
标准分类：QT
发布日期：1994-04-15
实施日期：1994-06-01
归口单位：无
起草单位：国营华东电子管厂
范围：本标准规定了电子工业元器件生产中电子级水制造用电渗析设备完好要求和检查、评定方法。本标准适用于电子元器件,集成电路制造以及清洗工序用电子级水制造的电渗析设备。
文件格式：PDF
文件大小：906.57KB
文件页数：4
（以上信息更新时间为：2019-05-05）
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