标准号：SJ/T 31079-1994
实施状态：现行
中文名称：正胶显影机、负胶显影机、匀胶机完好要求和检查评定方法
组织分类：SJ
中标分类：L97
标准分类：QT
发布日期：1994-04-15
实施日期：1994-06-01
归口单位：无
起草单位：国营西北机器厂
范围：本标准规定了正胶显影机、负胶显影机、匀胶机和擦片机的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于半导体集成电路、晶体管生产中,硅片正性胶显影的正胶显影机、负性胶显影的负股显影机、硅片涂胶自动匀胶机和自动擦片机。
文件格式：PDF
文件大小：558.38KB
文件页数：3
（以上信息更新时间为：2019-05-05）
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