标准号：SJ/T 10478-1994
实施状态：现行
中文名称：磁控溅射设备通用技术条件
英文名称：General specification for magnetic sputtering equipment
组织分类：SJ
中标分类：L98
标准分类：QT
发布日期：1994-04-11
实施日期：1994-10-01
归口单位：电子工业部标准化研究所
起草单位：国营南光机器厂标准化研究所
范围：本标准规定了磁控溅射设备的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于磁控溅射设备(以下简称“设备”)。
文件格式：PDF
文件大小：1.82MB
文件页数：10
（以上信息更新时间为：2019-05-05）
标准全文下载：
SJ_T 10478-1994 磁控溅射设备通用技术条件.pdf
(1.82 MB)
|
|
