SJ 3118-1988 晶片承载器

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标准号:SJ 3118-1988
实施状态:现行
中文名称:晶片承载器
组织分类:SJ
中标分类:L90
标准分类:QT
发布日期:1988-04-08
实施日期:1988-12-01
归口单位:
起草单位:电子工业部标准化研究所
范围:本标准规定了晶片包装盒、传递片架和清洗片架的晶片承载器的品种、规格、尺寸和技术要求。本标准适用于半导体材料、分立器件和集成电路生成过程中晶片的包装、传递和清洗用的晶片承载器。
文件格式:PDF
文件大小:1.56MB
文件页数:11
(以上信息更新时间为:2019-05-10)

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SJ 3118-1988 晶片承载器.pdf (1.56 MB)

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