SJ 2595-1985 高纯四氯化硅中痕量磷的分光光度比色测试方法

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5 | 2010-12-18 05:40 | 显示全部楼层 |阅读模式

标准号：SJ 2595-1985
实施状态：现行
中文名称：高纯四氯化硅中痕量磷的分光光度比色测试方法
组织分类：SJ
中标分类：H17
标准分类：QT
发布日期：1985-07-31
实施日期：1986-01-01
归口单位：无
起草单位：无
范围：本方法适用于生长半导体器件及电路用硅外延片、多晶硅和光通讯器件用光纤予制件的高纯四氯化硅中磷含量的测试方法。
文件格式：PDF
文件大小：1003.32KB
文件页数：6
（以上信息更新时间为：2019-05-11）

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