[国家标准] GB/T 4059-2007 硅多晶气氛区熔基磷检验方法

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查看3765 | 回复3 | 2019-10-24 14:52 | 显示全部楼层 |阅读模式
标准号:GB/T 4059-2007
实施状态:现行
中文名称:硅多晶气氛区熔基磷检验方法
英文名称:Polycrystalline silicon. Examination method. Zone-melting on phosphorus under controlled atmosphere
实施日期:2008-02-01
作废日期:2019-11-01
被替代标准:GB/T 4059-2018
代替标准:GB/T 4059-1983
采用标准:ASTM F1723-1996,MOD
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
起草单位:峨眉半导体材料厂
标准简介:本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基磷的检验。
文件格式:PDF
文件大小:225.12KB
文件页数:7
(以上信息更新时间为:2019-10-24)

标准全文下载(高清全文电子版):
GB_T 4059-2007 硅多晶气氛区熔基磷检验方法.pdf (225.12 KB)

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