标准号：SJ 3244.5-1989
实施状态：现行
中文名称：砷化镓和磷化铟材料补偿度的测试方法
英文名称：Methods of measurement for compensation degree of Gallium arsenide and Indium phosphide materias
发布日期：1989-03-20
实施日期：1989-03-25
归口单位：无
起草单位：机械电子工业部第四十六研究所
标准简介：本标准规定了砷化镓和磷化铟材料确定补偿度的测量原理,仪器设备、样品制备及测试分析方法。本标准适用于n型、P型砷化镓和磷化铟单晶及高阻衬底外延层,载流子浓度在1×10^12~5×10^15cm^-3范围的半导体材料的补偿度的测试分析。原则上也适用于其他Ⅲ-V族化合物材料补偿度的测试分析。
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（以上信息更新时间为：2019-11-15）
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