SJ/T 11576-2016 喷雾式涂覆设备通用规范

显示全部楼层 · 2016-1-12 00:30

标准号：SJ/T 11576-2016
实施状态：现行
中文名称：喷雾式涂覆设备通用规范
英文名称：General Specification for Spray Coating Equipment
发布日期：2016-01-15
实施日期：2016-06-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：沈阳芯源微电子设备有限公司
标准简介：本规范规定了喷雾式涂覆设备（以下简称“设备”）的术语和定义、产品分类、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存及使用说明书等。本规范适用于半导体分立器件与集成电路制造过程中，在基片表面通过喷雾式涂覆形成均匀胶膜的设备。
文件格式：PDF
文件大小：7.07MB
文件页数：13
（以上信息更新时间为：2019-03-28）

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SJ/T 11576-2016 喷雾式涂覆设备通用规范

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