标准号:SJ/T 11555-2015
实施状态:现行
中文名称:用电感耦合等离子体质谱法测定硝酸中金属元素的含量
英文名称:Determination of the metals' concentration of nitric acid by ICP-MS
发布日期:2015-10-10
实施日期:2016-04-01
归口单位:全国半导体设备与材料标准化技术委员会
起草单位:苏州晶瑞化学有限公司
标准简介:本标准规定了采用电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定硝酸中金属元素的试验方法。本标准适用于电子工业用硝酸中痕量金属元素钠(Na)、镁(Mg)、铝(Al)、钾(K)、钙(Ca)、钛(Ti)、钒(V)、铬(Cr)、锰((Mn)、铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)、铜(Cu)、锌(Zn)、砷(As)、锶(Sr)、银(Ag)、镉(Cd)、锡(Sn)、锑(Sb)、钡(Ba)、铅(Pb)的测定。本方法标准适用于痕量测定,推荐测定元素的浓度范围为0.1μg/L~100μg/L。应用本标准时,电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)应放在不低于GB 50472中规定的10000级的洁净室内,推荐1000级的洁净室。本标准不涉及使用安全性问题,本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限制。
文件格式:PDF
文件大小:7.03MB
文件页数:11
(以上信息更新时间为:2019-03-29)
标准全文下载:
SJ_T 11555-2015 用电感耦合等离子体质谱法测定硝酸中金属元素的含量.pdf
(7.03 MB)
|
|