标准号：GB/T 37959-2019
实施状态：未实施
中文名称：含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型
英文名称：Information model for containing process chamber IC equipment design
发布日期：2019-08-30
实施日期：2020-03-01
归口单位：全国自动化系统与集成标准化技术委员会
主管单位：中国机械工业联合会
文件格式：PDF
文件大小：2.85MB
文件页数：18
（以上信息更新时间为：2020-01-09）
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GB_T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型.pdf
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