标准号：GB/T 19921-2018
实施状态：现行
中文名称：硅抛光片表面颗粒测试方法
英文名称：Test method for particles on polished silicon wafer surfaces
发布日期：2018-12-28
实施日期：2019-07-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管单位：国家标准化管理委员会
文件格式：PDF
文件大小：2.52MB
文件页数：29
（以上信息更新时间为：2020-01-10）
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GB_T 19921-2018 硅抛光片表面颗粒测试方法.pdf
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