标准号:GB/T 26068-2018
实施状态:现行
中文名称:硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法
英文名称:Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers and silicon ingots—Non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance method
发布日期:2018-12-28
实施日期:2019-11-01
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管单位:国家标准化管理委员会
文件格式:PDF
文件大小:3.97MB
文件页数:29
(以上信息更新时间为:2020-01-10)
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