[国家标准] GB/T 4059-2018 硅多晶气氛区熔基磷检验方法

[复制链接]
查看1020 | 回复5 | 2018-12-29 08:23 | 显示全部楼层 |阅读模式
标准号:GB/T 4059-2018
实施状态:现行
中文名称:硅多晶气氛区熔基磷检验方法
英文名称:Test method for phosphorus content in polycrystalline silicon by zone-melting method under controlled atmosphere
发布日期:2018-12-28
实施日期:2019-11-01
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管单位:国家标准化管理委员会
文件格式:PDF
文件大小:686.59KB
文件页数:8
(以上信息更新时间为:2020-01-10)

标准全文下载:
GB_T 4059-2018 硅多晶气氛区熔基磷检验方法.pdf (686.59 KB)

使用道具 举报