标准号：SJ/T 11451-2013
实施状态：现行
中文名称：扩散炉能源消耗规范
英文名称：Specification for energy consumption norm of diffusion furnace
发布日期：2013-10-17
实施日期：2013-12-01
作废日期： - -
归口单位：中国电子技术标准化研究院
起草单位：北京七星华创电子股份有限公司
标准简介：本标准规定了扩散炉能源消耗指标、计算原则、计算方法和评价原则。本标推适用于电子行业各企业元器件生产运行中的工作温度在400℃～1350℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉。
文件格式：PDF
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文件页数：12
（以上信息更新时间为：2019-04-05）
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SJ_T 11451-2013 扩散炉能源消耗规范.pdf
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