标准号:SJ 21475-2018
实施状态:现行
中文名称:磷化铟单晶片几何参数测试方法
英文名称:Test methods for geometric parameters of InP wafers
发布日期:2018-12-29
实施日期:2019-03-01
归口单位:工业和信息化部电子第四研究院
起草单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
文件格式:PDF
文件大小:2.14MB
文件页数:10
(以上信息更新时间为:2020-03-13)
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SJ 21475-2018 磷化铟单晶片几何参数测试方法.pdf
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