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SJ 21259-2018 抛光设备工艺验证方法
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SJ 21259-2018 抛光设备工艺验证方法
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2018-1-15 04:13
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阅读模式
标准号:
SJ 21259-2018
实施状态:
现行
中文名称:
抛光设备工艺验证方法
英文名称:
Technological verification procedures for polishing equipment
发布日期:
2018-01-18
实施日期:
2018-05-01
归口单位:
工业和信息化部电子第四研究院
起草单位:
中国电子科技集团公司第四十八研究所
文件格式:
PDF
文件大小:
3.25MB
文件页数:
14
(以上信息更新时间为:2020-03-13)
标准全文下载:
SJ 21259-2018 抛光设备工艺验证方法.pdf
(3.25 MB)
2018-1-15 04:13 上传
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设备
,
工艺
,
验证
,
方法
,
抛光
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