[电子] SJ 21261-2018 MEMS惯性器件结构设计要求

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查看9968 | 回复5 | 2018-1-15 19:30 | 显示全部楼层 |阅读模式
标准号:SJ 21261-2018
实施状态:现行
中文名称:MEMS惯性器件结构设计要求
英文名称:Structural design requirements for MEMS inertial device
发布日期:2018-01-18
实施日期:2018-05-01
归口单位:工业和信息化部电子第四研究院
起草单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
文件格式:PDF
文件大小:2.98MB
文件页数:10
(以上信息更新时间为:2020-03-13)

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SJ 21261-2018 MEMS惯性器件结构设计要求.pdf (2.98 MB)

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