SJ 21319-2018 涂胶设备工艺验证方法

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查看8833 | 回复7 | 2018-1-17 00:03 | 显示全部楼层 |阅读模式
标准号:SJ 21319-2018
实施状态:现行
中文名称:涂胶设备工艺验证方法
英文名称:Technological verification methods for spin-coating platform
发布日期:2018-01-18
实施日期:2018-05-01
归口单位:工业和信息化部电子第四研究院
起草单位:中国电子科技集团公司第二研究所
文件格式:PDF
文件大小:2.10MB
文件页数:10
(以上信息更新时间为:2020-03-13)

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SJ 21319-2018 涂胶设备工艺验证方法.pdf (2.1 MB)

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