标准号：SJ 21102-2016
实施状态：现行
中文名称：氮化铝压电薄膜通用规范
英文名称：General specification for piezoelectric aluminum nitride films
发布日期：2016-01-19
实施日期：2016-03-01
归口单位：工业和信息化部电子第四研究院
起草单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所;中国人民解放军空军驻重庆地区军事代表室
文件格式：PDF
文件大小：9.18MB
文件页数：24
（以上信息更新时间为：2020-03-13）
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SJ 21102-2016 氮化铝压电薄膜通用规范.pdf
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