标准号：SJ 21131-2016
实施状态：现行
中文名称：反应离子刻蚀机通用规范
英文名称：General specification for reactive ion etching equipment
发布日期：2016-01-19
实施日期：2016-03-01
归口单位：工业和信息化部电子第四研究院
起草单位：中国电子科技集团公司第四十八研究所
文件格式：PDF
文件大小：7.59MB
文件页数：19
（以上信息更新时间为：2020-03-13）
标准全文下载：
SJ 21131-2016 反应离子刻蚀机通用规范.pdf
(7.59 MB)
|
|
