[电子] SJ 21131-2016 反应离子刻蚀机通用规范

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查看9963 | 回复5 | 2016-1-21 01:45 | 显示全部楼层 |阅读模式
标准号:SJ 21131-2016
实施状态:现行
中文名称:反应离子刻蚀机通用规范
英文名称:General specification for reactive ion etching equipment
发布日期:2016-01-19
实施日期:2016-03-01
归口单位:工业和信息化部电子第四研究院
起草单位:中国电子科技集团公司第四十八研究所
文件格式:PDF
文件大小:7.59MB
文件页数:19
(以上信息更新时间为:2020-03-13)

标准全文下载:
SJ 21131-2016 反应离子刻蚀机通用规范.pdf (7.59 MB)

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