标准号：DB44/T 1527-2015
实施状态：现行
中文名称：微束分析 扫描电镜 图像清晰度评价方法
适用地区：广东省
行业分类：信息传输、软件和信息技术服务业
发布日期：2015-01-30
实施日期：2015-04-30
归口单位：广东省质量技术监督局
起草单位：广州计量检测技术研究院、金发科技股份有限公司
发布单位：广东省质量技术监督局
标准简介：本标准适用于扫描电子显微镜（SEM）图像清晰度的评价，涉及术语定义、获得SEM图像的步骤、SEM图像的获取、图像内区域的选取、具体的评价方法和检测报告等内容。其中，评价方法包括傅里叶变换（FT)法、对比梯度（CG）法及微分（DR）法。
文件格式：PDF
文件大小：14.64MB
文件页数：79
（以上信息更新时间为：2020-04-28）
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