标准号：EN 62047-3-2006
实施状态：现行
中文名称：半导体器件.微电机器件.第3部分:拉伸试验用薄膜标准试验片
英文名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices Part 3: Thin film standard test piece for tensile testing
发布日期：2006-09-01
文件格式：PDF
文件大小：435.08KB
文件页数：12 （以上信息更新时间为：2019-11-30）
